Dominique MANGELINCK

La maîtrise des matériaux est une composante essentielle du développement de la microélectronique. Étudiez l'influence des avancées en métallurgie sur la microélectronique à support silicium : barrières de diffusion performantes, réduction des défauts structuraux, qualité des interconnexions métalliques.

La métallurgie est indispensable à la microélectronique à support silicium. Les métaux et intermétalliques y sont omniprésents : interconnexions, contacts, diffusion…