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Arnaud MANTOUX

Enseignant chercheur - Laboratoire de Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP) - Grenoble-INP, CNRS, Université Grenoble Alpes, Grenoble, France

  • RE255
    ALD en microélectronique - Applications, équipements et productivité

    L’utilisation du dépôt par couches atomiques est de plus en plus répandue dans le secteur de la microélectronique. Découvrez les évolutions récentes de cette technique, notamment une plus large gamme de composition des films et différentes solutions pour améliorer la rentabilité de ces procédés.

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