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Professeur des Universités de l’UGA (Université Grenoble Alpes) - Affiliations : Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM), CEA/LETI/MINATEC, 17 rue des Martyrs 38054 Grenoble Cedex 9, France ; Polytech Grenoble, 14 place du Conseil National de la résistance, 38400 Saint-Martin-d’Hères, France
Découvrez l’impact de l’assistance plasma sur les propriétés physico-chimiques ou électriques des dépôts de couches atomiques. Citons entre autres l’augmentation de la vitesse de croissance par cycle et la modification de la résistivité électrique du matériau.
