Capteurs à semiconducteurs

   Introduction: De l'universalité des capteurs

   1 Définition

   2 Décomposition en capteurs élémentaires

   3 Principaux phénomènes exploités par les capteurs

   3.1 Lois physiques générales

   3.2 Propriétés spécifiques des matériaux

   3.21 Transformation des déformations

   3.22 Transformation des champs magnétiques

   3.23 Transformation de l'énergie lumineuse

   3.24 Interaction semiconducteur-fluide appliquée aux détecteurs d'es-pèces chimiques

   4 Capteurs relevant de la technologie de la microélectronique

   4.1 Capteurs exploitant des structures élastiques ou capteurs micro-usinés

   4.2 Capteurs chimiques ou biochimiques

   4.3 Capteurs intelligents

   5 Capteurs en silicium: l'enjeu économique

   Bibliographie