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Déplacement chimique
Analyse de surface par ESCA - Analyse élémentaire et applications
P2626 v1 Archive

Déplacement chimique
Analyse de surface par ESCA - Analyse élémentaire et applications

Auteur(s) : TRAN MINH DUC

Date de publication : 10 sept. 1998

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1 - Analyse élémentaire quantitative

2 - Déplacement chimique

3 - Applications analytiques

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  • TRAN MINH DUC : Professeur - Université Claude-Bernard Lyon I

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INTRODUCTION

L‘ESCA est la technique de surface dont le domaine d’application est le plus vaste et le plus complet. En science des surfaces, elle permet l’étude directe de la structure électronique, de la liaison chimique, de la cristallographie, des reconstructions et surstructures des surfaces monocristallines propres et chimisorbées. En science des matériaux, ses applications vont de la catalyse à la microélectronique, à l’adhésion, aux composites, à l’épitaxie et aux dépôts de films minces, à la modification et au traitement de surfaces, à la corrosion, à l’étude du vieillissement des polymères, à celle des biomatériaux et implants et de la biocompatibilité. Dans l’industrie électronique, la technique est déjà utilisée en production et en ligne pour le contrôle de la qualité, la détection des contaminations superficielles, la vérification de l’épaisseur et de l’homogénéité de films et l’analyse de défauts et la résolution de problèmes de défaillances.

Le principe de la technique et l’instrumentation sont traités dans l’article « Analyse de surface par ESCA. Principe et instrumentation ».

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-p2626

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2. Déplacement chimique

La mesure précise de l’énergie de liaison des électrons en ESCA fournit des informations importantes sur la structure chimique des surfaces analysées. En effet, cette énergie varie en fonction de l’environnement chimique et moléculaire dans lequel l’atome émetteur est engagé ; c’est le phénomène de déplacement chimique ESCA [1, 4, 59, 60, 61]. D’après l’expression de l’énergie de liaison des électrons mesurée en ESCA, on peut exprimer le déplacement comme la résultante de deux termes :

Le premier terme reflète les effets de l’état initial. Il tient compte de la polarité (statique) des liaisons chimiques et des transferts de charge lors de l’établissement de celles-ci. Le deuxième terme traduit l’influence de la relaxation dans l’état final, de la mobilité des électrons et de la polarisation (dynamique) des liaisons. Les deux contributions peuvent varier en sens opposé et se neutraliser dans certains cas avec un déplacement ESCA nul ou même inverse par rapport à celui attendu en considérant les charges partielles. L’état final dans les transitions Auger est doublement ionisé, le déplacement des pics Auger est alors dominé par les effets de relaxation qui sont beaucoup plus importants que pour l’ESCA dont l’état final a une simple ionisation. Les déplacements Auger sont en général plus importants que ceux des pics ESCA, leur différence ne reflète alors que les variations de l’énergie de relaxation [62]. Cette propriété est fructueusement exploitée par le paramètre Auger pour discrimer les composés chimiques d’un élément avec une meilleure résolution chimique que l’ESCA seul [63].

2.1 Modèles théoriques des déplacements ESCA

Les niveaux de cœur étant d’énergie élevée, le calcul théorique de leur déplacement en fonction de l’environnement chimique est complexe. Pour des applications analytiques, il suffit d’avoir une compréhension phénoménologique des déplacements ESCA. Deux types de modèles, le modèle à potentiel électrostatique et une approche thermodynamique, permettent d’atteindre cet objectif.

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