Glossaire

# Dépôt de couches atomiques : définition

Procédé de dépôt de couches minces atomiques qui consiste à exposer une surface successivement à différents précurseurs chimiques afin d'obtenir des couches ultraminces.
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Articles de références et fiches pratiques à propos de : Dépôt de couches atomiques

Circuits en couches minces
Réf : E3365

des premières couches atomiques, production d’un élément composite : alliage dans le cas du dépôt d’un métal... . Ses inconvénients, car il y en a, sont : une faible vitesse de dépôt (environ une [...]

10 févr. 2003

Circuits en couches minces
Réf : E3366

Les couches minces sont un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, habituellement obtenu... ce que l’on entend par couche mince, à savoir un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, [...]

10 mai 2003

Dépôt par couche atomique spatiale (SALD)
Réf : RE262

dépôt par couche atomique... dépôt par couche atomique spatiale... dépôt de couches minces... . Points clés Domaine  : Techniques [...]

10 nov. 2016

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