du motif ( lift-off ) ; la gravure directe du matériau du support ; la nanoimpression... – sont déposées par balayage par la pointe d'un microscope à champ de force ( cf . figure 9 ). Nanoimpression... ). La lithographie molle constitue une variante de la nanoimpression, et comme elle, constitue une technologie... de haute résolution. On forme l'image d'un moule en résine obtenu par gravure ou par nanoimpression...
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entre chaque niveau (encadré 1 ). La nanoimpression est une alternative à la photolithographie. Initialement... en dehors de la microélectronique. Lithographie par nanoimpression Nanoimpression thermique On dépose d'abord... sur la figure 2 . La couche de polymère structurée par nanoimpression peut être transplantée... sur le moule par tournette . Après recuit, cette couche peut être transplantée, par nanoimpression thermique...
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n'est pas vraie pour l'emboutissage. Le domaine d'application majeur de la nanonano-impression est le remplacement...
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