Janvier 2017
Principes et applications de la technique ALD (Atomic layer deposition)
L’ALD, un procédé de choix pour un grand nombre d’applications industrielles
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Cet article décrit les principes physiques sur lesquels s’appuie la technologie d'intégration des modulateurs électro-optiques dans le niobate de lithium (LiNbO 3 ), principalement par les méthodes de diffusion métallique pour le guidage confiné de la lumière. Il donne les règles de conception de composants de modulation optique pour les amener à un niveau industriel. L'article insiste en particulier sur la conception d'électrodes hyperfréquences permettant des bandes passantes de modulation de plusieurs dizaines de GHz. Les procédés de fabrication sont décrits et mettent en lumière à la fois les options possibles et les difficultés à surmonter.
Cet article décrit cinq exemples de modulateurs intégrés dans le niobate de lithium, pris parmi les plus représentatifs, tant par leur impact dans les applications que par l'intérêt de leur architecture. Il étudie tout d'abord les modulateurs d'amplitude de Mach-Zehnder, puis les modulateurs doubles parallèles pour les formats complexes mêlant phase et amplitude. Il aborde ensuite le cas du coupleur actif 2×2 ainsi que le commutateur et le rotateur de polarisation. Enfin, le modulateur de phase en jonction Y largement déployé dans les centrales inertielles à base de gyromètres à fibre optique est étudié.
La propriété des éléments à émettre un rayonnement caractéristique, suite à une excitation par rayons X ou fluorescence X, est exploitée à des fins de quantification. Les équations décrivant cette interaction lumière-matière sont rappelées, ainsi que les conditions expérimentales nécessaires pour s’affranchir du besoin d’étalons de référence. La fluorescence X peut aussi être exploitée en la combinant avec la réflectivité X pour l’étude des couches minces d’épaisseur nanométrique. L’approche présentée ici exploite les données fondamentales dont les enjeux de justesse et d’incertitudes associés sont abordés dans un souci métrologique.
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