4. Capteurs en silicium : l’enjeu économique
Les capteurs relevant de la technologie de la microélectronique, et plus particulièrement de celle du silicium, offrent des avantages techniques et économiques certains.
Ainsi vers la fin des années 1970, la course à l’innovation était dirigée par un souci de réduction d’encombrement afin d’augmenter la puissance de calcul ou la fonctionnalité des appareils. Dans les années 1980, l’avènement des technologies dites collectives, associé au traitement du silicium, a permis des réductions drastiques des coûts de fabrication permettant ainsi une « démocratisation » de ces nouveaux produits (microélectronique). De plus, les qualités mécaniques du silicium associées à un usinage collectif soit chimique (KOH ...) soit physique (gravure plasma, micro-forage) relativement simple, rendent aujourd’hui possible l’industrialisation de certaines microstructures pour les marchés...
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