3. Guides d’onde planaires – optique intégrée
Il existe un intérêt croissant pour les systèmes micro-opto-électromécaniques (MOEMS), avec le développement de divers microdispositifs dans les champs disciplinaires des télécommunications et tout particulièrement, ces dernières années, dans celui des capteurs. La micro- et nanophotonique se donne pour objectif d’aboutir à l’intégration de dispositifs photoniques ou optoélectroniques sur des puces microélectroniques.
Depuis le milieu des années 1980, la plupart des travaux en microphotonique ont eu pour objet une intégration monolithique d’éléments photoniques sur silicium garantissant une parfaite compatibilité avec l’électronique de type CMOS (
Complementary Metal Oxide Semiconductor...
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