4. Applications des structures micro-usinées
4.1 Capteurs de pression
Beaucoup de ces capteurs sont constitués d’une membrane de silicium de quelques dizaines de micromètres et de dimensions latérales de 1 à 5 mm. La différence de pression entre les deux faces est détectée, soit par la mesure des contraintes à l’encastrement avec des jauges piézorésistives diffusées, soit par l’évaluation de la déformation en utilisant une structure capacitive. Des principes concurrents exploitent des effets non linéaires induisant une variation de fréquence de résonance de la membrane ou d’une structure associée (pont vibrant).
Plusieurs procédés peuvent être utilisés pour la réalisation de la membrane :
attaque anisotrope de la face arrière du substrat et contrôle de...
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Applications des structures micro-usinées
Capteurs non micro-usinés
Bibliographie
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