5. Capteurs non micro-usinés
Ces capteurs sont en général fabriqués par les procédés de la microélectronique classique ; ils sont donc réalisés en technologie planar
5.1 Capteurs de température
Ils sont très utilisés dans l’industrie et peuvent exploiter une multitude d’effets physiques. On citera principalement la modification de résistance du silicium faiblement dopé (effet de thermistance), les variations de la caractéristique courant / tension des jonctions PN et les thermopiles. Les thermistances peuvent être fabriquées par diffusion d’impuretés dans un substrat et prise de contact...
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Capteurs non micro-usinés
Effets de la miniaturisation des capteurs
Bibliographie
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