3. Dimensionnement de résonateurs
Dans la pratique, un résonateur à ondes de volume n’est pas constitué d’une unique couche piézoélectrique pourvue de métallisations infiniment fines. Comme illustré figure 10 , il lui est adjoint des électrodes métalliques d’épaisseurs finies, des revêtements de protection contre l’environnement, ainsi que tout un ensemble de couches additionnelles destinées à individualiser les fréquences de certains résonateurs par rapport à d’autres. Par ailleurs, le résonateur devant être isolé acoustiquement du substrat sur lequel il est réalisé, des structures spécifiques sont formées à cet effet. Ceci permet la distinction entre deux types de résonateurs à ondes de volume : les résonateurs sur membranes (appelés Film Bulk Acoustic...
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Dimensionnement de résonateurs
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