3. Dimensionnement de résonateurs
Dans la pratique, un résonateur à ondes de volume n’est pas constitué d’une unique couche piézoélectrique pourvue de métallisations infiniment fines. Comme illustré figure 10, il lui est adjoint des électrodes métalliques d’épaisseurs finies, des revêtements de protection contre l’environnement, ainsi que tout un ensemble de couches additionnelles destinées à individualiser les fréquences de certains résonateurs par rapport à d’autres. Par ailleurs, le résonateur devant être isolé acoustiquement du substrat sur lequel il est réalisé, des structures spécifiques sont formées à cet effet. Ceci permet la distinction entre deux types de résonateurs à ondes de volume : les résonateurs sur membranes (appelés Film Bulk Acoustic Resonator, ou FBAR) (figure
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Dimensionnement de résonateurs
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