3. Nombreuses questions ouvertes
Les métaux sont donc omniprésents dans les applications de la microélectronique. Mais les questions posées ne sont pas nécessairement identiques à celles qui émergent dans les domaines plus « classiques » des applications structurales.
Il importe de bien clarifier les spécificités du domaine pour identifier de façon pertinente les « questions ouvertes ».
Une caractéristique constante de la microélectronique est la présence de « situations confinées » : couches minces, canaux et plots. Une autre caractéristique est la « coexistence forcée » entre des matériaux aux comportements très différents : silicium et cuivre, oxydes de silicium, intermétalliques de barrières. Et enfin les procédés mêmes d'élaboration, comprenant une séquence de dépôts et de traitements thermiques, conduisent à des problèmes spécifiques. Cette fois encore, il n'est pas question d'être exhaustifs,...
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Nombreuses questions ouvertes
Besoin fort de compétences en métallurgie
Sources bibliographiques
- (1) - PINEAU (A.), QUÉRÉ (Y.) (Coord.) - La métallurgie – Science et ingénierie. - EDP Sciences (2011). http://livres.edpsciences.org/ouvrage.php?ISBN=978-2-7598-0538-9
- (2)...
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