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Professeur à l’université d’Aix Marseille, Institut Matériaux, - Microélectronique Nanosciences de Provence IM2NP, Marseille, France - Cet article est la réédition actualisée de l'article intitulé « Métallurgie pour la microélectronique à support silicium » paru en 2011, rédigé par Yves BRECHET, Dominique MANGELINCK, Jean PHILIBERT et Olivier THOMAS.
La maîtrise des matériaux est une composante essentielle du développement de la microélectronique. Étudiez l'influence des avancées en métallurgie sur la microélectronique à support silicium : barrières de diffusion performantes, réduction des défauts structuraux, qualité des interconnexions métalliques.
Un insecte artificiel pour effectuer des missions de reconnaissance ? Basé sur les technologies de microfabrication permettant d’imiter une cinématique similaire à celle des insectes, ce nanodrone à ailes vibrantes est mû grâce à un actionneur électromagnétique.
La métallurgie est indispensable à la microélectronique à support silicium. Les métaux et intermétalliques y sont omniprésents : interconnexions, contacts, diffusion…
Cet article expose la problématique de la traçabilité des mesures dans le contexte des analyses chimiques environnementales. En effet, la traçabilité permet de relier des données de mesure à des références établies, et donc valide la fiabilité des mesures et des résultats obtenus. Il importe d'établir une chaîne de raccordement à des références. Des exemples pratiques d'application viennent illustrer l'aspect théorique.
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