4. Conclusion
L’intégration de supercondensateurs dans l’électronique incarne un véritable challenge du fait de la limitation de l’espace disponible pour le stockage de l’énergie sur silicium. Un procédé de fabrication de films de carbones nanoporeux très adhérents à partir de carbone dérivé de carbure a été démontré, au même titre que la préparation de micro-supercondensateurs à l’échelle du wafer. Le dépôt de TiC, la gravure sous atmosphère réactive permettant d’obtenir des motifs interdigités et la chloration sont des procédés entièrement compatibles avec les technologies développées par l’industrie du silicium. Les films de CDC délivrent des capacités élevées de 410 F · cm –3 /205 mF · cm –2 en électrolytes aqueux. Ces films ont pu être testés en milieu organique en augmentant la taille des pores ...
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