2. Matériaux et expérimentations
Les films de CDC ont été réalisés à partir de couches minces de carbure de titane (TiC). Des revêtements de plusieurs micromètres d’épaisseur de TiC sont déposés par pulvérisation cathodique magnétron à courant continu sous atmosphère non réactive sur Si ou Si/SiO 2 . Une cible de TiC (pureté = 99,5 %, diamètre 10 cm, épaisseur 6 mm) est pulvérisée sous argon à 100 cm 3 · min –1 dans un bâti de pulvérisation DP 650 (Alliance Concept). L’épaisseur des couches déposées à 750 °C peut atteindre jusqu’à 20 μm. Les propriétés des films de TiC (contraintes, conductivité électronique, rugosité) sont contrôlées par les paramètres de dépôt (pression, temps de dépôt, température de dépôt). La pression permet de contrôler les contraintes dans la couche de TIC. Elle...
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