Conclusions
Un nouveau réacteur de dépôt électrolytique pour les microsystèmes

Une synthèse comparée des résultats obtenus dans le réacteur standard et dans le réacteur à cône régulier est présentée dans le tableau  5 . Ces résultats sont également à comparer avec les objectifs initiaux du projet, présentés dans la dernière colonne du tableau.

On constate que la vitesse de dépôt a été multipliée par deux entre le réacteur standard et le RCR. On se situe, avec ce dernier, dans les spécifications fixées à l’origine du projet (0,1 µm/min). Pour ce qui concerne l’uniformité du dépôt, elle a été améliorée d’un facteur dix entre les deux réacteurs (de 18 % à 1,7 %). De plus, l’objectif initial pour cette uniformité (3 %) a été largement dépassé....