Expérimentations
Un nouveau réacteur de dépôt électrolytique pour les microsystèmes

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Expérimentations
Un nouveau réacteur de dépôt électrolytique pour les microsystèmes

Auteur(s) : David HENRY

Date de publication : 10 août 2024

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5. Expérimentations

5.1 Méthodes de caractérisation. Définition des réponses

EDS : energy dispersive spectrometry

Sur la microanalyse X :

Méthodes de microanalyse des surfaces et couches minces[P 3 795] de G. Blaise

Nous avons suivi, sur chacune des plaques caractérisées, cinq grandeurs (ou réponses) que nous avons jugées essentielles. Elles sont listées ci-après. Pour chacune d’elles, nous avons...

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