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David HENRY
INTRODUCTION
Cet équipement répond à des attentes peu satisfaites jusqu’alors par les réacteurs disponibles sur le marché. De coût modeste, il est adaptable aux différents procédés et permet d’atteindre d’excellentes performances techniques, notamment en terme d’uniformité.
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DOI (DIGITAL OBJECT IDENTIFIER)
Un nouveau réacteur de dépôt électrolytique pour les microsystèmes
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