4. Caractérisation des couches minces épitaxiées par LPE
Les caractérisations physico-chimiques qui doivent être effectuées sur les couches minces élaborées par LPE dépendent des applications visées. Néanmoins, un certain nombre d’entre elles peuvent être effectuées de manière systématique, afin de qualifier les échantillons.
4.1 Caractérisation microstructurale en microscopie
La première des caractérisations qu’il est important de réaliser est une observation de l’échantillon en microscopie optique, afin de confirmer ou pas la présence d’une couche épitaxiée et, si tel est le cas, d’en mesurer l’épaisseur ainsi que de rendre compte de manière qualitative de son aspect général : présence de fissures, état de l’interface couche/substrat, présence de bulles ou d’inclusions, homogénéité de la couche et de son épaisseur....
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Caractérisation des couches minces épitaxiées par LPE
Exemples d’applications de couches minces dopées terres rares élaborées par LPE
Sources bibliographiques
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