Épitaxie en phase liquide
Couches minces cristallines - Procédés de fabrication et applications

L’épitaxie en phase liquide est une technique de croissance en flux basée sur la solubilité d’un soluté (espèce à cristalliser) dans un solvant. Elle repose sur le fait que la solubilité d’une espèce diluée dans un solvant est une fonction croissante de la température, ce qui permet de faire cristalliser le soluté à une température bien en dessous de la température de fusion de ce même matériau. De fait, cette méthode est particulièrement attractive pour la croissance en couches de matériaux ayant des températures de fusion élevées tels que les oxydes. La force motrice de la croissance épitaxiale est directement corrélée à la sursaturation du soluté dans le solvant : l’introduction d’un substrat déséquilibre la solution sursaturée qui se trouve dans un état métastable, conduisant ainsi à la cristallisation du soluté sur ce substrat. Le bon contrôle...