Contexte général
Couches minces cristallines - Procédés de fabrication et applications

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Couches minces cristallines - Procédés de fabrication et applications

Auteur(s) : Gurvan BRASSE, Patrice CAMY

Date de publication : 10 octobre 2018 | Read in english

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1. Contexte général

1.1 État de l’art et tour d’horizon des principales techniques d’élaboration

Depuis les années 1970, de nombreux matériaux ont été élaborés sous la forme de couches minces et en parallèle de nombreuses techniques d’élaboration ont été développées. Dresser un état de l’art des différents matériaux synthétisés sous forme de couches minces revient également à faire un tour d’horizon des différentes technologies mises en œuvre. Ainsi, sans développer le cas des semiconducteurs, ce qui n’est pas l’objet de cet article, il est important de mentionner que les toutes premières couches minces ont été réalisées par la technique d’épitaxie en phase liquide et qu’il s’agissait de semiconducteurs tels que GaAs, InP et GaAlAs pour la fabrication des toutes premières diodes laser. Cette technique...

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