7. Glossaire
CVD (Chemical Vapor Deposition) et MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)
Dépôt chimique en phase vapeur : réaction entre un précurseur volatil (par exemple un organo-métallique) et un gaz pour fabriquer un dépôt sur un substrat.
RAP (Reactive Atmosphere Processing)
Technique permettant de purifier des composés chimiques (élimination des oxydes et hydroxydes dans les fluorures notamment) par réactions des impuretés avec les gaz de l’atmosphère réactive.
EBS (Electron Beam Sputtering)
Technique de dépôt physique en phase gazeuse dans laquelle une anode cible est bombarbée par un faisceau d’électrons.
PLD (Pulsed Laser Deposition)
Méthode de dépôt en couches minces utilisant un laser à impulsions de très fortes puissances crêtes.
PVD (Physical Vapor Deposition)
...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Glossaire
Sources bibliographiques
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Quiz et tests de validation présents dans cet article
Entraînez-vous autant que vous le voulez avec les quiz d'entraînement.
Article inclus dans l'offre
"Optique Photonique"
(
237 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
