Dimensionnement des microlentilles
Microplumes robotisées pour la fabrication de microlentilles - Application à la collimation des VCSEL

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RE138 V1 Recherche et innovation

Dimensionnement des microlentilles
Microplumes robotisées pour la fabrication de microlentilles - Application à la collimation des VCSEL

Auteur(s) : Véronique BARDINAL, Corinne VERGNENÈGRE, Emmanuelle DARAN, Jean-Bernard POURCIEL, Jean-Baptiste DOUCET, Thierry CAMPS

Date de publication : 10 février 2010 | Read in english

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2. Dimensionnement des microlentilles

2.1 Comment sont conçues les microlentilles déposées sur le VCSEL ?

Les microlentilles ont été modélisées pour optimiser leurs paramètres géométriques grâce au logiciel Zemax„ (voir en [Doc. RE 138]), en prenant en compte le caractère gaussien du faisceau laser. Avant d'envisager la fabrication de la microlentille sur le composant, il faut tout d'abord définir et réaliser des piédestaux de taille élevée (≍ 100 μm) avec une résine épaisse transparente (dans notre cas, la SU-8 voir paragraphe  3.2...

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