2. Plasmas RF
Les plasmas thermiques RF sont caractérisés par une absence totale
d’électrodes, le transfert d’énergie de la source au plasma étant
effectué par couplage inductif. Le principe de fonctionnement est
tout à fait similaire à celui du chauffage des métaux par induction . Cependant
la « charge », c’est-à-dire le plasma conducteur, a une conductivité
électrique nettement plus basse que celle de la majorité des métaux
( cf. tableau 1). Cela a une influence directe sur la fréquence optimale,
la taille du réacteur et la puissance minimale nécessaire pour maintenir
une décharge stable.
La théorie classique du chauffage par induction indique que des
courants de Foucault vont circuler dans un tube cylindrique de rayon
externe ...
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Plasmas RF