1. Introduction
La microélectronique est en quête perpétuelle de miniaturisation, et ce dans le but d'améliorer les performances des dispositifs tout en diminuant leur coût de fabrication. Cette approche se heurte à des limites physiques et technologiques dès lors que l'on souhaite descendre au-dessous d'une dimension de quelques dixièmes de micromètres. Depuis les années 1970, la course vers la miniaturisation a été menée selon deux approches complémentaires :
la voie descendante ou top-down : elle consiste à miniaturiser les dispositifs jusqu'à atteindre l'échelle nanométrique. Cette miniaturisation...
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Introduction
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