1. Définitions
Yong CHEN est professeur à l’École normale supérieure de Paris et chercheur au laboratoire de[nbsp ]photonique et nanostructures du CNRS (Marcoussis).
À ce jour, l'industrie de la microélectronique utilise la photolithographie par projection pour produire des circuits intégrés de haute densité (figure 1 ). Dans les laboratoires de recherche, l'utilisation de la photolithographie...
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