6. Évaluation de performance
L'intérêt de la nanoimpression et du nanomoulage repose sur leurs très hautes résolutions et leurs procédés parallèles. Les méthodes présentées ci-dessus sont en pleine évolution et il est difficile d'évaluer leurs performances de façon définitive. Actuellement, les performances des techniques de nanoimpression sont en compétition avec d'autres méthodes avancées de lithographie. C'est pour cette raison que l'accent sera mis sur les deux techniques de nanoimpression.
6.1 Résolution
En nanoimpression, il n'y a pas de limitation apparente. Les expériences de nanoimpression thermique ont montré une résolution de quelques nanomètres pour une période aussi petite que 40 nm. Notons que ces expériences ont été effectuées jusqu'au transfert des motifs : une empreinte dans...
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