Nanoimpression et nanomoulage : Références bibliographiques

Références bibliographiques
Nanoimpression et nanomoulage

Auteur(s) : Yong CHEN

Date de publication : 10 octobre 2006 | Read in english

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7.

RAI-CHOUDHURY (P.) (Ed.) Handbook of Microlithography, Microfabrication and Microsystems , vol 1 & 2, SPEI Press (1997). KRAUSS (P.R.) CHOU (S.Y.) J. Vac. Sci. Technol. B 13 , p. 2850 (1995). CHOU (S.Y.) KRAUSS (P.R.) RENSTROM (P.J.) Science. 85 , p. 272 (1996). International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), Edition 2003. BAO (L.R.) CHENG (X.) HUANG (X.D.) GUO (L.J.) PANG (S.W.) YEE (A.F.) J. Vac. Sci. Technol. B 20, p. 2881 (2002)....

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(1) - RAI-CHOUDHURY (P.) (Ed.) - Handbook of Microlithography, Microfabrication and Microsystems , vol 1 & 2, SPEI Press (1997).
(2) - KRAUSS (P.R.), CHOU (S.Y.) - J. Vac. Sci. Technol. B 13 , p. 2850...

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