Conclusion
ALD assistée par plasma (PEALD)

Cet article avait pour but de montrer les avantages et quelques limites des procédés ALD assistés plasma. Ce qu’on peut retenir, c’est que globalement, l’assistance plasma offre plus de souplesse, mais aussi complexifie le procédé puisqu’elle ajoute de nombreux paramètres. Néanmoins, l’assistance plasma se limite essentiellement à l’utilisation des radicaux atomiques issus de la décomposition des gaz réactifs, O ₂ ou H ₂ par exemple, et de nombreux composants du plasma n’ont pas (métastables, photons…) ou peu (ions) été étudiés dans le cas d’une assistance au procédé ALD, ce qui laisse encore place à un large champ exploratoire. Il reste aussi à appréhender l’impact des parois sur le procédé PEALD, puisqu’on sait les plasmas et la densité des radicaux impactés par la nature des parois (modification...