1. Plasma froid
Cette première section a pour objectif de décrire les plasmas froids utilisés lors de procédés PEALD. Nous donnerons ainsi une définition des plasmas froids et des grandeurs permettant de les caractériser. Pour une description plus détaillée, on pourra se référer à l’article de Anne-Marie Pointu et al dans les Techniques de l’ingénieur .
1.1 Définition d’un plasma froid
Le terme « plasma » a été proposé par Langmuir en 1929 afin de décrire...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Plasma froid
PEALD
Sources bibliographiques
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Article inclus dans l'offre
"Innovations technologiques"
(
230 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
