Pulvérisation magnétron à impulsions bipolaires de haute puissance : Sigles, notations et symboles

Sigles, notations et symboles
Pulvérisation magnétron à impulsions bipolaires de haute puissance

Auteur(s) : Matthieu MICHIELS, Stephanos KONSTANTINIDIS, Dominique DECKERS

Date de publication : 10 septembre 2023 | Read in english

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7. Sigles, notations et symboles

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Sigles, notations et symboles

(1) - DEPLA (D.), MAHIEU (S.), DE GRYSE (R.) - Depositing Aluminium Oxide: A Case Study of Reactive Magnetron Sputtering. - In : Reactive Sputter Deposition, édité par DEPLA (D.) et MAHIEU (S.), Springer Series in Materials Science, Springer, p. 153-197...

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