5. Synthèse de films de titane et de dioxyde de titane
5.1 Synthèse de films de titane métallique
Accroître la valeur de la tension lors de l’impulsion positive durant le régime HiPIMS bipolaire impacte la structure de films de titane métallique (déposés sur galette de silicium dopé), comme illustré par les analyses de diffraction de rayons X (DRX) en configuration Bragg-Brentano. Dans ce cas, un magnétron équilibré est utilisé (figure 14 ).
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Synthèse de films de titane et de dioxyde de titane
Conclusion
Sources bibliographiques
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