5. Conclusion – Perspectives et développements attendus
La spectrométrie à décharge luminescente, durant les dernières années, a trouvé un positionnement unique comme technique de profilage rapide des couches minces et des couches épaisses. Les développements espérés pourraient porter sur l’ amélioration de la sensibilité , et la mise en place de capteurs non intrusifs , qui donneraient plus d’informations en temps réel sur le plasma, ce dernier changeant avec chaque couche traversée. Ces développements permettraient alors d’interpréter avec encore plus de justesse les résultats obtenus.
Enfin, la généralisation de techniques numériques de traitement des résultats, très présentes sur d’autres méthodes, mais aujourd’hui encore trop peu utilisées en SDL, pourrait encore étendre son domaine d’applications et la « contraindre » naturellement...
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Conclusion – Perspectives et développements attendus
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