2. Définition d’une analyse de surface
Selon les conditions de la décharge, il est possible de créer des
cratères à fond plat
,
concave ou convexe
. Dans le cas d’échantillons métalliques, un cratère concave peut être obtenu en travaillant sous faible impédance de source, c’est-à-dire à relativement haute pression. À l’inverse, un cratère convexe peut être obtenu en travaillant sous haute impédance, c’est-à-dire à relativement basse pression. L’optimisation consiste à travailler entre ces deux extrêmes pour obtenir un cratère à fond aussi plat que possible (figure
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), nécessaire pour assurer une bonne résolution en profondeur dans les caractérisations...
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Définition d’une analyse de surface