Incontournable présence des métaux
Métallurgie pour la microélectronique à support silicium

On parle volontiers de « l'âge du silicium ». Pourtant les métaux sont présents à tous les niveaux dans la microélectronique. En effet, un composant électronique se doit de transporter des électrons : c'est la fonction des interconnexions qui sont formées de métaux à très haute pureté et très bonne conductivité électrique. Ce faisant, il génère de la chaleur qui doit être évacuée : les supports de circuits remplissent cette fonction et les matériaux composites à matrice métallique se taillent la part du lion. La caractéristique d'un circuit électronique est d'être architecturé spatialement du point de vue de sa chimie : des barrières de diffusion doivent être mises en place, qui sont souvent constituées d'intermétalliques. Les grilles des transistors sont formées d'empilements complexes de métaux et de matériaux à forte constante diélectrique pour...