5. Propriétés des polymères photoréticulés
Les réseaux polymères tridimensionnels formés par photopolymérisation de monomères multifonctionnels sont totalement insolubles dans les solvants organiques et présentent un faible taux de gonflement par suite de leur degré de réticulation élevé. Cette propriété est mise à profit en photolithographie pour réaliser les images en relief à haute définition qui sont nécessaires à la fabrication des microcircuits et des plaques d’impression. Le pouvoir de résolution est fonction de la longueur d’onde d’irradiation ; il atteint une valeur limite de 0,4 µm pour le rayonnement proche UV. Rappelons que c’est grâce à l’emploi de polymères photosensibles (
photorésists
) qu’on est parvenu à augmenter la densité d’intégration de microcircuits et à miniaturiser les composants électroniques.
La plupart des polymères photoréticulés présentent...
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Propriétés des polymères photoréticulés