1. Principe
La spectrométrie à décharge luminescente fait intervenir le phénomène de pulvérisation cathodique de l’échantillon à analyser , celui-ci est placé dans une source fonctionnant sur le principe d’un tube cathodique.
L’énergie utilisée pour la pulvérisation des atomes du matériau est l’énergie cinétique des particules chargées ou non électriquement (ions, électrons, atomes, etc.). Parce qu’elle ne comporte pas de volatilisation du matériau, contrairement aux autres sources d’excitation, la pulvérisation cathodique de l’échantillon est compatible avec la résolution en profondeur indispensable à l’analyse de surfaces
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Principe
Définition d’une analyse de surface
Sources bibliographiques
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