4. Traitements assistés par plasma ou ioniques
4.1 Principe
Lorsqu’une différence de potentiel est imposée entre une anode et une cathode dans une atmosphère gazeuse sous faible pression, il se produit des collisions ionisantes électron-molécule et, au-delà d’un certain potentiel (potentiel disruptif), un régime de décharge luminescente s’établit avec production d’espèces ionisées au voisinage de la cathode (figure ). Les conditions d’établissement de cette décharge dépendent, entre autres facteurs, de la nature des gaz et de la pression dans l’enceinte. Pour les traitements thermiques par voie ionique, on utilise la zone dite de « décharge anormale »...
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Traitements assistés par plasma ou ioniques
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