1. Pulvérisation cathodique en atmosphère neutre
C’est en 1853 que Grove a observé pour la première fois le phénomène de pulvérisation cathodique, se manifestant lors de l’établissement d’une décharge électrique sous pression réduite de gaz inerte par la formation sur la surface de l’anode d’une fine couche du matériau constituant la cathode. Ce n’est, en revanche, qu’au cours des trente dernières années que les progrès réalisés, tant en matière de compréhension des phénomènes physiques et physicochimiques mis en jeu qu’en matière d’avancées technologiques dans les appareils de contrôle et les générateurs, ont pu conduire au développement industriel de cette technique pour la synthèse de revêtements métalliques ou céramiques.
1.1 Mécanismes de base
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Pulvérisation cathodique en atmosphère neutre
Pulvérisation cathodique en atmosphère réactive
Bibliographie
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