Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact
Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

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Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact
Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

Auteur(s) : Brice ARRAZAT, Karim INAL

Date de publication : 10 septembre 2012 | Read in english

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2. Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact

Après le dépôt des films minces, les surfaces de contact sont rugueuses. Elles sont composées d'une multitude d'aspérités (figure  6 ) ayant différents rayons de courbure r et hauteurs z . Une des premières études chiffrées sur l'évolution de la morphologie des surfaces de contact des microrelais MEMS ohmiques a été effectuée par Gregori et Clarke

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