6. Matériels divers
6.1 Sas d’introduction
Il arrive souvent que l’on veuille introduire un ou plusieurs objets sous vide sans avoir à revenir à la pression atmosphérique et à repomper l’enceinte. Pour cela, on utilise un sas comprenant un volume auxiliaire réuni par un robinet (vanne) à l’enceinte et qui peut être pompé indépendamment.
Quand les pièces à introduire sont petites, les brides du sas sont circulaires. Quand les dimensions des pièces sont supérieures à 150 ou 200 mm, on utilise les brides rectangulaires. Les constructeurs américains de module pour les systèmes MBE (Molecular Beam Epitaxy ) utilisés pour la fabrication, entre autres, des semiconducteurs se sont accordés sur certaines dimensions. Il en est résulté un standard (non officiel) de brides rectangulaires adaptées à cet usage,...
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Matériels divers
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