3. Technologies de fabrication
Le but de cette partie est de décrire les différentes technologies de fabrication des microsystèmes.
On utilise pour leur fabrication non seulement des technologies utilisées en microélectronique, mais aussi en micromécanique, en micro-optique, en micromagnétisme, et en chimie, …
Les techniques les plus couramment utilisées pour réaliser des microsystèmes sont le micro-usinage de volume et le micro-usinage de surface. Ce sont les seules qui seront abordées ici.
Le micro-usinage en volume (bulk micromachining) (cf. § 3.4.1 et figure 9) est une technique qui permet l’obtention de microstructures suspendues par gravure du substrat. Le terme de volume est utilisé ici puisque la gravure forme une cavité dans le volume du substrat...
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Technologies de fabrication
Packaging et assemblage
- (1) - - http://www.memsnet.org/links/software.html
- (2) - MADOU (M.) - Fundamentals of Microfabrication. - 752 p. 2002 CRC Press.
- (3) - RAI-CHOUDURY (P.) - Handbook of Microlithography,...
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