5. Conclusions et perspectives
L'utilisation de la nano-indentation sphérique a permis de reproduire les sollicitations mécaniques des microrelais MEMS et d'analyser leurs impacts sur les surfaces de contact des couches minces d'or. Ainsi, le lien entre les forces d'adhésion et la topographie, par le paramètre de Fuller, est mis en évidence. L'utilisation de ce dernier peut conduire à des règles de conception des surfaces de contact (figure 26 ). Par exemple, pour des aspérités ayant un rayon de courbure moyen de 350 nm, l'écart type de la répartition en hauteur des sommets doit être supérieur à 3 nm (figure 26 )....
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Conclusions et perspectives
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