Exploitation des paramètres ellipsométriques
Ellipsométrie - Théorie

Ajouter à la bibliothèque

R6490 V1 Article de référence

Exploitation des paramètres ellipsométriques
Ellipsométrie - Théorie

Auteur(s) : Frank BERNOUX, Jean-Philippe PIEL, Bernard CASTELLON, Christophe DEFRANOUX, Jean-Hervé LECAT, Pierre BOHER, Jean-Louis STEHLÉ

Date de publication : 10 juin 2003 | Read in english

Ajouter à la bibliothèque Ajouter à la bibliothèque

Logo Techniques de l'Ingenieur Cet article est réservé aux abonnés
Pour explorer cet article plus en profondeur Consulter un extrait gratuit

Déjà abonné ?

4. Exploitation des paramètres ellipsométriques

4.1 Échantillon massif

Si l’on dispose d’un échantillon massif sans couche d’oxyde et sans rugosité de surface , la quantité :

ρ  = tan  Ψ  exp (j  Δ ) =  r p / r s

ne dépend que de l’angle d’incidence et de l’indice des maté- riaux  [1] .

En reprenant l’expression de...

Cet article est réservé aux abonnés
Logo Techniques de l'Ingenieur

Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.

Cet article est réservé aux abonnés Consulter un extrait gratuit

Déjà abonné ?


Lecture en cours
Exploitation des paramètres ellipsométriques

Article inclus dans l'offre

"Mesures mécaniques et dimensionnelles"

( 158 articles )

Une base complète d’articles

Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.

Services

Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.

Des modules pratiques

Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.

Des avantages inclus

Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.

Voir le détail de l'offre

Dans les ressources documentaires

Mesures sans contact - Méthodes optiques (partie 1)

Cet article présente les méthodes optiques de mesures dimensionnelles sans contact. Les capteurs utilisan...

Mesures sans contact - Méthodes optiques (partie 2)

Cet article présente des méthodes optiques très spécifiques pour la mesure dimensionnelle sans contact. C...

Tous les livres blancs
Toutes les actualités

Inscrivez-vous aux newsletters !

Contactez-nous