Principe de la mesure
Ellipsométrie - Théorie

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R6490 V1 Article de référence

Principe de la mesure
Ellipsométrie - Théorie

Auteur(s) : Frank BERNOUX, Jean-Philippe PIEL, Bernard CASTELLON, Christophe DEFRANOUX, Jean-Hervé LECAT, Pierre BOHER, Jean-Louis STEHLÉ

Date de publication : 10 juin 2003 | Read in english

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1. Principe de la mesure

Considérons une onde plane arrivant sur une surface plane. Une partie de l’onde est transmise ou absorbée à travers la surface, une autre partie est réfléchie par cette surface (figure  1 ).

Nota :

se reporter à la référence [1] ainsi qu’aux articles [43][44] des Techniques de l’Ingénieur.

Le champ électrique Ei

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