2. Conception et description de la centrale IEF-MINERVE
2.1 Salle blanche
Comme son nom l'indique, une centrale de micro-nanotechnologie est une entité dédiée à la réalisation technologique de microdispositifs (de dimensions allant de 1 mm à 0,1 µm) et de nanodispositifs (de dimensions inférieures à 0,1 µm). Notons que les micro-dispositifs comme les nanodispositifs peuvent comporter des motifs dont les dimensions sont de l'ordre du nanomètre. Dans les micro-nanotechnologies comme dans la microélectronique industrielle, il est, avant toute chose, impératif d'éviter dans l'air ambiant la présence de particules de dimensions voisines ou supérieures à celles des motifs à réaliser . De telles particules peuvent, en effet, introduire des défauts rédhibitoires au cours des étapes d'élaboration des micro-...
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Conception et description de la centrale IEF-MINERVE
Quelques projets de micro-nanotechnologie de la centrale IEF-MINERVE
Bibliographie
Références
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