4. Conclusions et perspectives
La présentation de la centrale IEF-MINERVE et de quelques-unes de ses réalisations a permis d'illustrer la diversité, voire même, la complexité des moyens à mettre en œuvre pour faire fonctionner une centrale de micro-nanotechnologie et élaborer des composants à des échelles (sub)-micrométriques. De nombreux aspects n'ont d'ailleurs pu être qu'effleurés comme, par exemple, tout ce qui concerne l'approche bottom-up (des atomes vers les nanostructures, figure 1 ) ; la croissance d'îlots quantiques Ge/Si rapportée dans la figure
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