Introduction
La centrale de micro-nanotechnologie IEF-Minerve

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Introduction
La centrale de micro-nanotechnologie IEF-Minerve

Auteur(s) : Jean-Michel LOURTIOZ, Jean AUBERT, Frédéric HAMOUDA, Jean-Luc PERROSSIER

Date de publication : 10 octobre 2005

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1. Introduction

Jean-Michel LOURTIOZ

Ancien élève de l’École centrale des arts et manufactures

Directeur de recherche au Centre national de la recherche scientifique, Institut d’électronique fondamentale, Orsay

Jean AUBERT

Professeur des Universités - Faculté des Sciences d’Orsay - Institut d’électronique fondamentale, Orsay

Frédéric HAMOUDA

Docteur en Sciences, Ingénieur de Recherche CNRS, responsable de la CTU IEF-MINERVE

Institut d’électronique fondamentale, Orsay

Jean-Luc PERROSSIER

Ingénieur de Recherche CNRS, responsable des services fonctionnement salles blanches et caractérisation de la CTU IEF-MINERVE...

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